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      8921SC13型美國bird油電射頻終止載荷產(chǎn)品規(guī)格

      點擊次數(shù):598 更新時間:2023-08-16

         8921SC13型美國bird油電射頻終止載荷為了最大限度地提高工藝的重復性和一致性,現(xiàn)代等離子體應用需要精確的射頻功率調(diào)節(jié)和控制。射頻發(fā)生器的校準、調(diào)節(jié)和監(jiān)控是確保射頻電源準確、可重復地向腔室輸送射頻電源的關鍵組成部分。

         當使用像BAN4020系列這樣的精密功率傳感器時,VSWR目前提供超穩(wěn)定、低VSWR負載,用于快速和精確地測量發(fā)電機輸出功率。8921SC13不僅提供低VSWR,而且在過程臨界頻率下,VSWR的總變化小于0.1分貝。由于校準時間不同,沒有必要進行負載熱身或重復性風險。這可以最小化與此校準相關的錯誤,并控制更關鍵的過程變量之一。

      產(chǎn)品規(guī)格:
      項目編號
      8921SC13
      項目名稱
      5千瓦,超穩(wěn)定,油電射頻終止載荷
      功率等級
      5千瓦
      頻率范圍及VSWR
      直流至28兆赫@最大1.1兆赫。
      不足1.05:1
      阻擋物
      50 (nominal)
      Vswr穩(wěn)定性
      0-100%的穩(wěn)定頻率功率
      穩(wěn)定頻率
      13.56兆赫+10千赫
      連接器
      "QC" Type LC (Female) - normally supplied
      互鎖熱開關-可選
      一般都是封閉的。在236℃(457華氏度)開放
      熱開關等級
      115伏,10a
      230真空,5a
      溫度范圍
      操作: +5 to +40 °C (+41 to +104 °F)
      儲存: – 40 to +45 °C (– 40 to +113 °F)
      高度
      1520 m (5000 ft.)
      潮濕
      95%不凝結(jié)最大值。
      冷卻法
      石油介質(zhì)和對流電流
      尺寸
      32.8" x 9.5" x 26.9"
      832x241x681毫米
      重量
      126 lbs.
      57千克
      結(jié)束
      環(huán)氧樹脂

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